蒸鍍反(fan)射鏡
- 性能(neng)特點
- 技術參(can)數
蒸鍍的物理(lǐ)過程包括：沉(chén)積材料蒸發(fa)或升華爲氣(qi)态粒子♍→氣态(tai)粒子快速從(cóng)蒸發源向基(ji)片表面輸送(song)→氣态粒子附(fù)着在基片表(biǎo)面形核、長大(da)成固體薄膜(mo)→薄膜原子重(zhong)構或産生化(hua)學鍵合。
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