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蒸鍍反射(shè)鏡

  • 産品(pǐn)概述
  • 性能特(tè)點

  蒸(zhēng)鍍的物理過(guo)程包括:沉積(ji)材料蒸發或(huo)升華爲氣态(tai)粒子⚽→氣态粒(li)子快速從蒸(zhēng)發源向基片(pian)表面輸送→氣(qì)态粒子附着(zhe)在基片表面(miàn)形核、長大成(cheng)固體薄膜→薄(bao)膜原㊙️子重構(gòu)或産生化學(xué)鍵合。

  将基片放(fàng)入真空室内(nèi),以電阻、電子(zǐ)束、激光等方(fang)法加熱膜料(liào),使膜料蒸發(fā)或升華,氣化(hua)爲具有一定(ding)能量(0.1~0.3eV)的粒子(zǐ)(原子、分子或(huò)原子團)。氣态(tai)粒子以基本(ben)無☁️碰撞的直(zhí)線運動飛速(su)傳送至基片(piàn),到⭕達基片表(biǎo)面🐆的粒子一(yī)部分被反射(she),另一部🍉分吸(xi)附在基片上(shàng)并發生表面(mian)擴散,沉積原(yuán)子之間産生(sheng)二維碰撞,形(xing)成簇團,有的(de)可能🌏在表面(miàn)短時停留後(hòu)又蒸發。

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