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煙台柳州特宇激光设备集团(急速版)
廠區(qū)1:煙台市福山(shan)區魏山路55号(hao)
廠區2:煙台市(shì)開發區北京(jing)南路4号3号廠(chang)房
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蒸(zhēng)鍍的物理過(guo)程包括:沉積(ji)材料蒸發或(huo)升華爲氣态(tai)粒子⚽→氣态粒(li)子快速從蒸(zhēng)發源向基片(pian)表面輸送→氣(qì)态粒子附着(zhe)在基片表面(miàn)形核、長大成(cheng)固體薄膜→薄(bao)膜原㊙️子重構(gòu)或産生化學(xué)鍵合。
将基片放(fàng)入真空室内(nèi),以電阻、電子(zǐ)束、激光等方(fang)法加熱膜料(liào),使膜料蒸發(fā)或升華,氣化(hua)爲具有一定(ding)能量(0.1~0.3eV)的粒子(zǐ)(原子、分子或(huò)原子團)。氣态(tai)粒子以基本(ben)無☁️碰撞的直(zhí)線運動飛速(su)傳送至基片(piàn),到⭕達基片表(biǎo)面🐆的粒子一(yī)部分被反射(she),另一部🍉分吸(xi)附在基片上(shàng)并發生表面(mian)擴散,沉積原(yuán)子之間産生(sheng)二維碰撞,形(xing)成簇團,有的(de)可能🌏在表面(miàn)短時停留後(hòu)又蒸發。


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二廠區(qū):煙台市開發(fā)區北京南路(lù)4号3号廠房
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